超精密零件加工在尺寸精度（dù）、形狀精度、表麵質量（liàng）等多個方麵都有極其嚴格的要求，以下（xià）是（shì）具體介（jiè）紹：
尺寸精度（dù）
公差範圍極小：超（chāo）精密零件的尺寸公（gōng）差通常被控製在微米（μm）甚至納米（nm）級別。例如，在航空航天領域，一些發（fā）動機葉片（piàn）的關鍵尺寸公差可（kě）能要求控製在 ±5μm 以（yǐ）內；在半導體製造（zào）中，芯片製造所使用的光刻掩膜版的線條寬度公差可達到 ±10nm 左右。
一致性（xìng）要求高（gāo）：對於一批超精密零件，不僅單個（gè）零件要滿足高精度要求，而且零件之間的尺寸一致性也必須極高。以（yǐ）手機攝像（xiàng）頭中的微型光學鏡片為（wéi）例，同一（yī）批次鏡片的直徑尺寸偏差要控製在極小範圍內，否則會影響攝像頭的成像質量。
形狀精度
平麵度：要求零（líng）件（jiàn）的表麵（miàn）平整度極高，例如，精密（mì）光學平（píng）麵鏡的平麵度可能要求（qiú）達到 λ/10 甚至（zhì）更高（λ 為光的波長（zhǎng），通常取 632.8nm），即平麵的起伏偏差在幾十納米（mǐ）以內。
圓度（dù）：像航空發動機的渦輪軸等關鍵零件，其圓度誤差（chà）通常要求控製在 0.001mm 以下，以確保在高速旋轉時的穩定性和可靠性。
圓柱度：對（duì）於一些高精度的（de）液壓油缸、氣動元件等，圓柱度要求嚴格，可能在（zài） 0.002mm - 0.005mm 之間，以保證良（liáng）好的密封性和運（yùn）動精（jīng）度。
位置精度
同軸度：在汽車發動機的曲軸加工中，各軸頸的（de）同（tóng）軸度誤（wù）差（chà）一（yī）般要求控製在 0.02mm - 0.05mm 之間，否則會影響發動機的動力輸出和穩定性。
垂直度與平行度：在精密模具製造（zào）中，模（mó）具的上下（xià）模板之間的平行度誤差通常要求控製在 0.05mm 以內，以保證模具在合模時的精度，從而生產出高質量的產品。
表麵質量
表麵（miàn）粗糙度：超精密零件的表麵粗糙度一般要求達到 Ra0.1μm - Ra0.01μm 甚至更低。如硬盤的磁頭滑塊（kuài）表麵，為了減少與磁盤的（de）摩擦和提高讀寫性能（néng），表麵（miàn）粗糙度可能達到 Ra0.005μm 左右。
表麵完整性：除了粗糙度外，還要求表麵無微觀裂紋、劃痕、毛刺、氧化層等缺陷。例如在光學鏡片的加工中，表麵任何微小的劃痕或裂（liè）紋都可能（néng）導致光線散射，影響光學性能（néng）。
材料性能一致性
微觀組織均勻性：零（líng）件材料的（de）微觀組織如晶粒（lì）大小、相組成等要（yào）均勻（yún）一致。以高強度合金鋼製造的航空零（líng）部件為（wéi）例，若材料微觀組織不均勻，會（huì）導致零件在受力時出現局部（bù）應力集中，降低零（líng）件（jiàn）的（de）整體性能和使用壽命。
性能穩定性：材料的力學性能、物理性能等要（yào）穩定。在電子元器件製造中，用於製造芯片的半導體材料，其電阻率、載流子遷移率等性能參數必須在嚴格（gé）的範圍內，否則會影響芯片的性能和可（kě）靠性。
裝配精度
間隙配合精度：在機械手表的機芯裝配中，齒輪與軸之間的間隙配合精度通（tōng）常要求控製在 0.01mm - 0.03mm 之間，以保證手表的走時精度。
過盈配合精度：在（zài）汽車發動機的活塞與活塞銷裝配中（zhōng），過盈量一般控製在 0.03mm - 0.05mm 之間，確保活塞與活塞銷之間既能傳遞動力，又能在不同工況（kuàng）下保持良好的工作狀態。
